בכל שרשרת תעשיית המוליכים למחצה, עיבוד וייצור הוא אחד החוליות החשובות ביותר. עם שוק כה גדול, ציוד תהליכי מוליכים למחצה מספק בסיס ייצור לייצור מוליכים למחצה בקנה מידה גדול. מאמר זה יתמקד במה שהם הציוד העיקרי בתהליך ייצור המוליכים למחצה.
1, תנור קריסטל יחיד
פונקציית ציוד: להמיס חומרים של מוליכים למחצה, למשוך קריסטל יחיד, לייצור מכשירי מוליכים למחצה הבאים, לספק בילט מוליך למחצה.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: PVA TePla AG (גרמניה), Ferrotec (יפן), QUANTUM DESIGN (ארה"ב), ג'רו (גרמניה), KAYEX (ארה"ב).
המותגים המקומיים העיקריים: בייג'ינג ג'ינגיונטונג, שבעה כוכבים הואאקסואנג, בייג'ינג ג'ינגי המאה, הביי ג'ינגלונג סאנשיין, שי' טכנולוגיית ג'ינקו, צ'אנגג'ואו הואשנג טיאנלונג, שנחאי האנג'ונג, שי' האאדה, המכון ה -48 מקבוצת טכנולוגיות סין אלקטרוניקה, שנחאי Shenhe תרמית מגנטית.
2. תנור גז שלב אפיטסיאלי
פונקציית ציוד: לספק סביבת תהליכים ספציפית לצמיחת אפיטקסיאליות של שלב הגז, למימוש צמיחת גבישי שכבה דקה עם מערכת יחסים מקבילה עם שלב גביש בודד על גבי הגביש הבודד, ולערוך הכנה בסיסית למימוש התפקודי של שקיעת קריסטל בודד. Epitaxy של שלב הגז הוא תהליך מיוחד של תצהיר אדים כימיים, שבו מבנה הגבישים של השכבה הדקה הגדילה הוא המשך של מצע הגביש הבודד ותואם את אוריינטציית הגביש של המצע.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
המותגים המקומיים העיקריים: China Electronics Technology Group 48 המכון, צ'ינגדאו צ'רידה, חפיי קוג'ינג חומרים טכנולוגיים ושות 'בע"מ, בייג'ינג ג'ינסנג מיקרו ננו, ג'ינאן ליגואן טכנולוגיה אלקטרונית ושות' בע"מ.
3. מערכת epitaxy של קרן מולקולרית
פונקציות ציוד: מערכת epitaxy קרן מולקולרית, המספקת את ציוד התהליך לגידול הסרט על המשטח התחתון בהתאם לספציפי; Epitaxy הקרן המולקולרית (MBEA) היא טכניקה להכנת סרטים דקים בגביש בודד. הוא משמש לגידול סרטים דקים שכבה אחר שכבה לאורך ציר הגבישים של המצע תחת מצע מתאים ותנאים מתאימים.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: Riber (צרפת), Veeco (ארה"ב), DCA Instruments (פינלנד), SVTAassociates (ארה"ב), NBM (ארה"ב), Omicron (גרמניה), MBE-Komponenten (גרמניה), אוקספורד יישומי (בריטניה) מחקר (OAR ) חברה.
מותגים מקומיים מרכזיים: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instruments Equipment Co., LTD.
4. תנור חמצון (VDF)
פונקציית ציוד: לטיפול בחמצון של חומר מוליכים למחצה, ספק את אווירת החמצון הנדרשת, כדי להשיג את העיצוב הצפוי של תהליך הטיפול בחמצון של מוליכים למחצה, הוא חוליה חיונית בתהליך עיבוד המוליכים למחצה.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת Thermco בבריטניה, גרמניה Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG.
המותגים המקומיים העיקריים: בייג'ינג שבעת הכוכבים הואקסואנג, צ'ינגדאו פרונדה, המכון ה -48 לטכנולוגיה של סין האלקטרוניקה, המכון ה -45 של צ'ינגדאו Xuguang מכשירים ושות ', בע"מ.
5. מערכת להפקדת אדים כימיים בלחץ נמוך (LPCVD)
פונקציית הציוד: אדי המכיל את סוכן התגובה הגזי או הנוזלי המהווה את יסודות הסרט וגזים אחרים הנדרשים לתגובה מוחדרים לתא התגובה של ציוד LPCVD, והסרט נוצר כתוצאה מתגובה כימית על פני המצע. .
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת החשמל הבינלאומית Hitachi,
המותגים המקומיים העיקריים: שנחאי צ'יג'יאן למחצה טכנולוגיות ושות 'בע"מ, סין האלקטרוניקה הטכנולוגית קבוצת מכון 48, סין הטכנולוגיה האלקטרוניקה קבוצת המכון ה -45, מפעל המכשירים של בייג'ין, מפעל המכונות של שנחאי.
6. מערכת הפקדת אדים כימיים משופרת פלזמה (PECVD)
פונקציית הציוד: השתמש בהזרקת זוהר בחדר התצהיר, הפוך אותו ליונן ולנהל תגובה כימית על המצע כדי להפקיד חומר סרט דק של מוליכים למחצה.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: Proto Flex (ארה"ב), טוקי (יפן), שימאדסו (יפן), לאם ריסיירס (ארה"ב), ASM אינטרנשיונל (הולנד).
המותגים המקומיים העיקריים: סין אלקטרוניקה טכנולוגיה קבוצת מכון 45, מפעל מכשירי בייג'ין, מפעל מכונות שנחאי.
7. טבלת התנפצות מגנטרון (MSA)
פונקציות הציוד: באמצעות שדה מגנטי סגור המקביל למשטח המטרה בהתקוטפות הדו קוטבית, והשדה האלקטרומגנטי האורתוגונלי הנוצר על משטח היעד, האלקטרון המשני נקשר לאזור הספציפי של משטח היעד, כדי להשיג צפיפות יונים גבוהה ורמה גבוהה יינון אנרגיה, ואטומי המטרה או מולקולות המטרה מופקדים על המצע תוך התנפצות בקצב גבוה ליצירת סרט.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת PVD, חברת Vaportech, חברת AMAT, חברת האוזר, חברת Teer, חברת Platit, חברת Balzers וחברת Cemecon.
המותגים המקומיים העיקריים: מפעל המכשירים של בייג'ין, שניאנג ג'ונגקה מכשיר ושות ', בע"מ, צ'נגדו נאנגואנג תעשייתי ושות' בע"מ, סין האלקטרוניקה הטכנולוגית, מכון 48, Kerui Equipment Co., LTD., מפעל מכונות שנחאי.
8. מכונת ליטוש מכנית כימית (CMP)
פונקציית הציוד: באמצעות טחינה מכנית ופירוק נוזלים כימיים" קורוזיה" של האפקט המשולב, ליטוש (מוליך למחצה).
מותגים בינלאומיים מרכזיים: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
המותגים המקומיים העיקריים: Lanzhou Lanxin High-Tech Industry Co., Ltd., Alite Microelectronics.
9, מכונת ליטוגרפיה
פונקציית המכשיר: הדבק באופן שווה על פני מצע המוליכים למחצה (פרוסות סיליקון), העבר את התבנית שעל המסכה לפוטורס, ובאופן זמני" העתק" המכשיר או מבנה המעגל אל רקיק הסיליקון.
המותגים הבינלאומיים הגדולים: ASML (הולנד), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
המותגים המקומיים העיקריים: China Electronics Technology Group 48 המכון, China Electronics Technology Group 45 המכון, מפעל מכונות שנחאי, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. מערכת תחריט יונים תגובתי (RIE)
פונקציות ציוד: המתח בתדר גבוה מוחל בין אלקטרודות הצלחת כדי לייצר שכבת יונים בעובי של מאות מיקרון, ותבנית ההשפעה המהירה של יונים מוכנסת לתבנית, להשגת תחריט תגובה כימית והשפעה פיזית וכדי להשיג עיבוד מוליכים למחצה. ודפוס.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת Evatech Japan, חברת NANOMASTER האמריקאית, חברת REC סינגפור, חברת JuSung בדרום קוריאה, חברת TES דרום קוריאה.
המותגים המקומיים העיקריים: מפעל המכשירים של בייג'ין, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה ושות 'בע"מ, צ'נגדו נאנגואנג התעשייה ושות' בע"מ, סין טכנולוגיית אלקטרוניקה, ארבעים ושמונה מכון.
11. מערכת תחריט פלזמה ICP
פונקציות ציוד: אטום גז אחד או יותר ממולקולות מעורבות בתא התגובה, בפעולה של אנרגיה חיצונית (כגון תדר רדיו, מיקרוגל וכו ') ליצירת פלזמה, מצד אחד, הקבוצה הפעילה בפלזמה ו חומר פני השטח שיש לחרוט תגובה כימית, לייצר מוצרים נדיפים; מצד שני, היונים בפלזמה מונחים ומואצים תחת פעולה של לחץ הטיה למימוש קורוזיה כיוונית וקורוזיה מואצת של המשטח החרוט.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: אוקספורד אינסטרומנטס (בריטניה), טור (ארה"ב), גטן (ארה"ב), מניין (בריטניה), לימן (ארה"ב), פלקו (ארה"ב).
המותגים המקומיים העיקריים: מפעל מכשירי בייג'ינג, בייג'ינג צ'יקינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה ושות 'בע"מ, סין האלקטרונית לטכנולוגיה, מכון 48, Goder ion Technology (הונג קונג) הולדינג ושות' בע"מ, המכון למיקרואלקטרוניקה, האקדמיה הסינית למדעים, מיקרואלקטרוניקה הצפונית , בייג'ינג אוריינטל ג'יצ'נג ושות 'בע"מ, בייג'ינג טריינדס ויינה טכנולוגיה.
12, מכונת תחריט וניקוי רטוב
פונקציית ציוד: תחריט רטוב הוא חומר התחריט הספוג בתמיסת תחריט לטכנולוגיית קורוזיה. ניקוי נועד לצמצם את הזיהום, שעלול להשפיע על ביצועי המכשיר, להוביל לבעיות אמינות ולהפחית את התשואה, הדורשת ניקוי יסודי לפני כל שכבה בתהליך הבא או לפני השכבה הבאה.
המותגים הבינלאומיים המרכזיים: מסך (יפן), SEMES (קוריאה), טוקיו אלקטרון (יפן), לאם ריסייר (אמריקה).
המותגים המקומיים העיקריים: Nantong Hualin Kona ציוד מוליכים למחצה ושות ', בע"מ, בייג'ינג צ'יקסינג הוואקסואנג אלקטרוניקה ושות' בע"מ, סין האלקטרוניקה הטכנולוגית, מכון 45, טייוואן הונגסו.
13. מכונת השתלת יונים (IBI)
פונקציית ציוד: סימום האזור הסמוך לפני השטח של המוליך למחצה.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. ו- Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (שנרכשה על ידי AMAT).
המותגים המקומיים העיקריים: מפעל המכשירים של בייג'ין, סין האלקטרוניקה הטכנולוגית קבוצת המכון ה -48, צ'נגדו נאנגואנג התעשייה ושות ', בע"מ, שניאנג פנג'י מכונות תעשיה קלה ושות' בע"מ, שנגחאי סיליקון טופ מיקרואלקטרוניקה ושות 'בע"מ.
14, ספסל בדיקות בדיקה
פונקציית המכשיר: באמצעות מגע החללית עם כרית המכשיר המוליך למחצה, מבוצעת בדיקה חשמלית כדי לבדוק אם מדד הביצועים של המוליך למחצה עומד בדרישות ביצועי התכנון.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת Ingun בגרמניה, חברת QA, חברת MicroXact, חברת Ecopia, חברת Leeno.
המותגים המקומיים העיקריים: סין אלקטרוניקה טכנולוגית קבוצה מכון 45, בייג'ינג צ'יקסינג הואצ'ואנג אלקטרוניקה ושות 'בע"מ, Ruike Instruments, קבוצת Huarong, שנזן Senmei Xieer טכנולוגיה.
15. מכונת דילול ופלים
פונקציה: להפחית את עובי הפרוס על ידי ליטוש.
המותגים העיקריים הבינלאומיים: חברת DISCO Japan, חברת G&, גרמניה, חברת OKAMOTO ביפן, חברת Camtek הישראלית.
המותגים המקומיים העיקריים: Lanzhou Lanxin High-Tech Industry Co., Ltd., Shenzhen Fonda Manufacturing Equipment Manufacturing Co., LTD. טכנולוגיה ושות 'בע"מ.
16. מכונת כתיבה ופלים (DS)
פונקציית המכשיר: הוופל, חתוך לחתיכות קטנות של מת.
מותגים בינלאומיים מרכזיים: חברת OEG בגרמניה, חברת DISCO ביפן.
המותגים המקומיים העיקריים: קבוצת טכנולוגיות אלקטרוניקה בסין, צ'צ'נג בייג'ינג על ידי תחילת מקור טכנולוגיות פוטו -אלקטריות מקור, בע"מ, מכון שניאנג לטכנולוגיית מכשור, חברת מכונות צפון -מערב, בע"מ, (מפעל 709) יש את מפעל המכונות לצפון -מערב, הוי שנג אלקטרוניקה חברת מכונות וציוד אלקטרוני, לאנז'ואו: לייזר, שיתוף בתעשיית ההיי-טק, בע"מ, ציוד לייזר, רובין שנזן, בע"מ, עובד וו הנסן, ג'הואי ליאנופטרוניקס, טכנולוגיית ג'וחאי יואמאו.
17. Wire Bonder
פונקציית המכשיר: חבר את ה- Pad על שבב המוליכים למחצה עם ה- Pad על הסיכה בעזרת חוט המתכת המוליך (חוט זהב).
מותגים בינלאומיים מרכזיים: Ottey האמריקאית, TPT גרמנית, אוסטריה FK, UNISEM מלזיה.
המותגים המקומיים העיקריים: China Electronics Technology Group, מכון 45, בייג'ינג Transhijie Technology Development Co., Ltd., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (השקעה יוניסאן מלזיה), שנזן קאיג'יו אוטומציה לציוד ושות ', בע"מ.